Thermischer Prozess
Nassätzen
Galvanik
Wafersägem
Drahtbonden
Dickschichttechnologie
Optische Inspektion
Oberflächen-Profiler
Untersuchungsstation

Reinräume

IMSAS nutzt eine Vielfalt von Einrichtungen für Forschung, Entwicklung und Produktion modernster Mikrosysteme, die alle nach DIN EN ISO 9001:2008 Bedingungen betrieben werden. Verfügbar sind zwei große Klasse 6 (nach DIN EN ISO 14644-1) Reinräume mit einer Gesamtfläche von 900 m² für Vor- und Nachbearbeitung von 100 mm und 150 mm Wafern. Diese bieten eine komplette Auswahl von Standard MEMS Prozessen: 

 

  • Photolithographie
  • Thermische Prozessierung
    • Oxidation 
    • Diffusion 
    • Tempern
  •  Abscheidungsprozesse
    • Chemische Niederdruck
    • Gasphasenabscheidung (LPCVD) 
    • Plasma-verbesserte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) 
    • Sputtern 
    • Verdampfung
  •  Ätzen 
    • Nassätzen 
    • Reaktives Ionenätzen (RIE) 
    • Tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE)/Advanced Silicon Etching (ASE) 
    • Ion Milling Etching
  • Galvanik
  • Waferbonden 
    • Silizium-Direkt-Bonden (SDB) 
    • Anodisches Bonden 
    • Eutektisches Bonden 
    • Lötmittel Bonden 
    • Glas-Frit Bonden
  • Chemisch-Mechanisches Polieren (CMP) 

 

 

Aufbau- und Verbindungstechnik

IMSAS verfügt über eine Vielfalt spezieller Anlagen, welche die Aufbau- und Verbindungsprozesse am Ende der MEMS Herstellung ermöglicht:

  • Wafersägen
  • Chipbonden
  • Drahtbonden
  • Dickschichttechnologie
  • Leiterplattenfräsen (PCB)

 

 

Test und Charakterisierung

Um die DIN EN ISO 9001:2008 Bedingungen während der Herstellung wie auch beim anschließenden Testen und Charakterisieren der MEMS Geräte zu gewährleisten, besitzt IMSAS eine Vielzahl von Messinstrumenten und Stationen: 

  • Schichtdickenmessgeräte
  • Stufenhöhenmessgerät
  • Oberflächen-Profiler
  • 3D-Messsystem
  • Messgerät für Schichtspannungen
  • 4-Punkt Widerstandmessgerät
  • Rasterelektronenmikroskop (SEM)
  • Röntgenfluoreszenz Spektrometer
  • Druckmessstation
  • Strömungsmessstation
  • Gasmessstation
  • Klimaschrank

 

 

Design und Simulation

Zahlreiche Design- und Simulationswerkzeuge ermöglichen IMSAS ebenfalls MEMS-Designs hausintern herzustellen und zu optimieren:

  • CoventorWare®
  • LabVIEW®
  • MATLAB®
  • COMSOL Multiphysics®