Reinräume

IMSAS nutzt eine Vielfalt von Einrichtungen für Forschung, Entwicklung und Produktion modernster Mikrosysteme, die alle nach DIN EN ISO 9001:2008 Bedingungen betrieben werden. Verfügbar sind zwei große Klasse 6 (nach DIN EN ISO 14644-1) Reinräume mit einer Gesamtfläche von 900 m² für Vor- und Nachbearbeitung von 100 mm und 150 mm Wafern. Diese bieten eine komplette Auswahl von Standard MEMS Prozessen: 

• Photolithographie
• Thermische Prozessierung
  • Oxidation 
  • Diffusion 
  • Tempern
•  Abscheidungsprozesse
  • Chemische Niederdruck
  • Gasphasenabscheidung (LPCVD) 
  • Plasma-verbesserte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) 
  • Sputtern 
  • Verdampfung
•  Ätzen 
  • Nassätzen 
  • Reaktives Ionenätzen (RIE) 
  • Tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE)/Advanced Silicon Etching (ASE) 
  • Ion Milling Etching
• Galvanik
• Waferbonden 
  • Silizium-Direkt-Bonden (SDB) 
  • Anodisches Bonden 
  • Eutektisches Bonden 
  • Lötmittel Bonden 
  • Glas-Frit Bonden
• Chemisch-Mechanisches Polieren (CMP) 

Aufbau- und Verbindungstechnik

IMSAS verfügt über eine Vielfalt spezieller Anlagen, welche die Aufbau- und Verbindungsprozesse am Ende der MEMS Herstellung ermöglicht:

• Wafersägen
• Chipbonden
• Drahtbonden
• Dickschichttechnologie
• Leiterplattenfräsen (PCB)

 

Test und Charakterisierung

Um die DIN EN ISO 9001:2008 Bedingungen während der Herstellung wie auch beim anschließenden Testen und Charakterisieren der MEMS Geräte zu gewährleisten, besitzt IMSAS eine Vielzahl von Messinstrumenten und Stationen: 

• Schichtdickenmessgeräte
• Stufenhöhenmessgerät
• Oberflächen-Profiler
• 3D-Messsystem
• Messgerät für Schichtspannungen
• 4-Punkt Widerstandmessgerät
• Rasterelektronenmikroskop (SEM)
• Röntgenfluoreszenz Spektrometer
• Druckmessstation
• Strömungsmessstation
• Gasmessstation
• Klimaschrank

 

Design und Simulation

Zahlreiche Design- und Simulationswerkzeuge ermöglichen IMSAS ebenfalls MEMS-Designs hausintern herzustellen und zu optimieren:

• CoventorWare®
• LabVIEW®
• MATLAB®
• COMSOL Multiphysics®