Willkommen am Institut für Mikrosensoren, -aktoren und -systeme

Die Mikrosystemtechnik nützt die Verfahren der Halbleitertechnologie, um miniaturisierte Systeme herzustellen, zum Beispiel Sensoren oder Aktoren. Das IMSAS untersucht die dafür notwendigen Herstellungsprozesse, entwirft neuartige Bauteile und realisiert sie im Reinraum der Universität Bremen.

Die Schwerpunkte der Arbeit sind:

1. Mikrofluidische Systeme und Strömungssensoren

   Ein zentrales Thema des IMSAS sind thermische Strömungssensoren. Bei diesen wird auf einem Siliziumchip eine dünne Membran präpariert, auf die ein Heizer und mehrere Temperaturfühler integriert sind. Durch die Strömung wird das Temperaturprofil geändert, daraus kann man die Strömungsgeschwindigkeit ermitteln.

2. Sensornetze für die Logistik

    Im Projekt „Der Intelligente Container“ wird ein Sensornetz entwickelt, das den Zustand von verderblichen Waren misst, zum Beispiel den Reifegrad von Obst in einem Container. Durch Reifemodelle wird aus den Sensordaten die verbleibende Resthaltbarkeit abgeschätzt, mit deren Hilfe der Logistikprozess verbessert wird.

3. Sensorintegration

    Diese Arbeitsgruppe befasst sich mit der Einbettung von Sensoren in Systeme und Bauteile. Ziel ist es, Sensoren so in Material zu integrieren, dass die makroskopischen Eigenschaften wie z.B. die Materialfestigkeit nicht beeinflusst werden. Dazu sind neue, kleinere Sensorelemente sowie neue Techniken der Materialeinbettung nötig. Ein Beispiel ist die Integration von Temperatur- und Dehnungssensoren in den Stahl eines intelligenten Wälzlagers.

Dem IMSAS steht ein großes Angebot an Einrichtungen zur Verfügung, mit denen alle grundlegenden Technologien erfasst werden, die für die Realisierung von intelligenten Mess- und Kontrollsystemen relevant sind. Die Einrichtungen werden nach DIN EN ISO 9001:2008 zertifiziertem Qualitäts-Management-Richtlinien betrieben.